61楼:典型设计单元由6个条带状结构组成,每条宽3mm、长100mm,厚约100nm,条状结构两端有两个支撑点, ..
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62楼:条状结构采用氮化硅(Si3N4)材料制作,提供较高的张力和耐用性,结构表面镀铝,可提高反射率和导 ..
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63楼:在不加电压的情况下,可动条不会下移,处于绷紧状态,整个单元的中部形成一个平坦表面,此时GLV ..
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64楼:当在可动条和衬底间施加电压时,静电吸引力使三个交替相间的可动条向下移动,单元表面成为一个相 ..
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65楼:在衍射状态下,固定条和可动条反射出来的光波前之间产生相位差,光栅在θ角度产生衍射峰:
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66楼:由于GLV器件是采用标准CMOS工艺制造的,因此容易集成相关的驱动和外围电路。另外,单块晶圆上可 ..
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67楼:静电吸引力以及可动条材料本身提供的张力为垂直位移提供了平衡。由于空气间隔很小,而静电吸引力 ..
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68楼:我们将结合具体应用进一步详细地讨论这些优点。GLV器件目前已经和正在开发的应用主要集中在投影 ..
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69楼:投影机应用
根据前面的介绍,我们可以看到,GLV器件的每个单元可独立对入射光进行调制,因 ..
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70楼:GLV器件很容易做成多个单元像素组成的一维器件。
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