55楼:MEMS(微机电系统)器件可同时结合机械功能和电子电路,一般采用半导体工艺来制造从微米到毫米级的 ..
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56楼:MEMS器件的应用范围非常广泛,包括传感器、液体力学、光学、RF、存储和生物技术应用。
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57楼:光栅光阀(Grating Light Valve)就是基于MEMS技术的一种新型器件。GLV技术由斯坦福大学教授David ..
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58楼:GLV技术适用于范围广泛的成像设备,包括正面投影和背面投影系统、便携式通信设备、打印机、计算 ..
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59楼:光栅光阀(GLV)的技术原理基于光的反射及衍射干涉效应。
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60楼:GLV器件利用MEMS技术在硅晶圆上制成。基本结构是条状结构组成的器件单元,器件单元一般由偶数个 ..
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