回帖：1，注意一下清洗，必要手擦几片做比较。
2，镀膜前用离子源清洗，用质量大的Ar，多打一阵子。
3，基板如果是玻璃就加到150度以上，
如果是塑胶，用卤素灯加热（不要用加热丝）
其他的上面的都讲过了，其实工艺参数很重要。
如果是塑胶片，加热很重要