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光行天下
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光学薄膜设计,工艺与设备
主题:
低温TI3O5 SIO2。RF辅助镀膜。膜强度差。什么原因造成?
回帖:这个Ti3O5成膜温度一般不能太低吧,建议150℃以上,低温成膜牢固度与吸收均不够理想,如果想低温成膜,高折射率材料用Ta2O5可能更好一些
yzhuang
回帖于2023-03-30 09:58
下一楼›
:主要SIO2打底层,掉膜也是掉到了基板
(
repent134
)
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