回帖：中科院上海光机所联合哈工大团队，首次实现 EUV 光源绝对波前测量。团队设计分束光子筛，提出艾里斑互换相位差测量技术，攻克极紫外、软 X 射线波段波前测量难题，可为短波精密光场调控、先进光刻、生物成像与 X 射线诊断等领域提供精准波前支撑。