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光学薄膜设计,工艺与设备
主题:
zns表面破损/脱膜
回帖:飞奔的牛:emmm,这个我这镀膜也有,咱们的异常一模一样,我现在也在想解决这个,目前只能做到减少,不能完全消除掉,还是得去找大佬问问。
我怀疑溅料、底部脏污,腔体环境,但不知道对不对
(2026-07-17 14:24)
底部脏污导致的脱膜是从基底开始的吧。我们切片分析,发现一部分是基底脱膜,又有一部份是膜层中间脱落。
另外对白点切片分析,有部分白点是膜层中间存在空鼓,导致突起。
调整zns膜料装舟时的排列紧密度会不会对溅料产生改善
nailiang
回帖于2026-07-17 15:33
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:emmm,这个我这镀膜也有,咱们的异常一模一样,我现在也在想解决这个,目前只能做到减少,不能完 ..
(
飞奔的牛
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