回帖：对比性电子束光刻实验结果表明，相同簇核结构的锡氧簇对照样品的线条会出现严重的边缘模糊，在更高分辨下则表现出明显的图案扭曲或倒伏；而引入硅烷配体后，样品均能获得更清晰的线条图案，并呈现出更优异的LER表现。最终，Sn6Si6-Bu与Sn6Si6-Ph分别实现8.89 nm与7.90 nm特征尺寸（CD）的高质量线条，将团簇光刻胶的分辨率推至新的水平。这项工作证实锡氧簇表面硅功能化策略的有效性，为高端光刻胶材料研发提供了一种利用原子级功能基元设计精准调控辐射反应与界面作用的可行技术路线。