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清华大学在连续波真空紫外光源方面取得重大突破
回帖:该光源平台具备连续波运行、相干性优异和宽范围可调谐等特点,除服务核光钟外,还可作为通用真空紫外相干光源平台,支撑铝离子原子光钟等量子精密测量研究,并服务量子信息相关实验、凝聚态角分辨光电子能谱及高分辨真空紫外谱学等前沿应用。面向半导体关键材料与工艺的真空紫外计量、芯片检测与机理研究需求,该平台有望推动高端测试表征装备与关键部件的自主可控,增强产业链关键环节韧性。
jeremiahchou
回帖于2026-02-23 00:00
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spike123
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