回帖：先根据厂家给的经验参数进行试镀，只做单一材料的单层膜，将单层膜的电子枪参数与离子源参数根据实际情况进行优化，包括充氧量，寻找到吸收最小或都无吸收的工艺参数，然后再调整修正挡板，也可以在前期做工艺参数的时候同步调整。