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主题:光刻胶领域我国又有新突破
回帖:该技术解决了7纳米及以下先进制程中光刻胶显影环节的工艺优化难题,显著降低了芯片制造缺陷率。此前工业界依赖反复试错优化工艺,而该技术通过分子尺度解析实现精准调控,为半导体湿法工艺提供了全新解决方案。
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