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主题:低温TI3O5  SIO2。RF辅助镀膜。膜强度差。什么原因造成?
回帖:请教一下为什么加热不能用加热丝,光驰机里好像没有卤素灯
下一楼›:jimmy_:请教一下为什么加热不能用加热丝,光驰机里好像没有卤素灯 (2024-02-19 17:21)  ..
‹上一楼:1,注意一下清洗,必要手擦几片做比较。
2,镀膜前用离子源清洗,用质量大的Ar,多打一阵子 ..

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