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光行天下 光行天下> 光学薄膜设计,工艺与设备
主题：低温TI3O5  SIO2。RF辅助镀膜。膜强度差。什么原因造成？
回帖：基片是否干净，扩散泵是否返油，第一层速率及离子源参数
石前林回帖于2023-03-31 10:54
下一楼›：1，注意一下清洗，必要手擦几片做比较。
2，镀膜前用离子源清洗，用质量大的Ar，多打一阵子 ..(ouyuu)
‹上一楼：建议测一下温度(嘤击长空)

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