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光行天下
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光学薄膜设计,工艺与设备
主题:
低温TI3O5 SIO2。RF辅助镀膜。膜强度差。什么原因造成?
回帖:建议测一下温度
嘤击长空
回帖于2023-03-31 01:27
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:基片是否干净,扩散泵是否返油,第一层速率及离子源参数
(
石前林
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:离子源&充氧&电子枪速率方面看下
(
小时候_我很帅
)
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