回帖：jiangguang:你确定维护好了吗？厂家的人没准没你水平高。自己去测量下每次的真空度时间吧，基本图形变来变去就是真空不稳定，引起真空不稳定的因素：漏气，电压不稳，扩散泵有水气，可以从这两个方面研究。
 (2013-12-17 09:24) 
如果设备上找不到问题的话，可以考虑一下一些影响比较大的细节，比如电子束是否偏离等。