回帖：静电吸引力以及可动条材料本身提供的张力为垂直位移提供了平衡。由于空气间隔很小，而静电吸引力与间隔的平方成反比，因此静电吸引力非常强。又因为可动条的质量小，因此其动作速度非常快(约为20ns)。
pp_968574回帖于2005-12-12 13:08
下一楼›：我们将结合具体应用进一步详细地讨论这些优点。GLV器件目前已经和正在开发的应用主要集中在投影 ..
(pp_968574)‹上一楼：由于GLV器件是采用标准CMOS工艺制造的，因此容易集成相关的驱动和外围电路。另外，单块晶圆上可 ..
(pp_968574)
