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主题:几何光学和光学设计
回帖:GLV器件利用MEMS技术在硅晶圆上制成。基本结构是条状结构组成的器件单元,器件单元一般由偶数个平行条状结构组成,条状结构的大小可以根据设计需要进行调整。
下一楼›:典型设计单元由6个条带状结构组成,每条宽3mm、长100mm,厚约100nm,条状结构两端有两个支撑点, ..
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