光行天下

回帖：MEMS(微机电系统)器件可同时结合机械功能和电子电路，一般采用半导体工艺来制造从微米到毫米级的器件。

pp_968574回帖于2005-12-12 13:00

下一楼›：MEMS器件的应用范围非常广泛，包括传感器、液体力学、光学、RF、存储和生物技术应用。(pp_968574)
‹上一楼：dsdhgjhjhgjghjghh(pp_968574)