回帖：leehow534:你好，新年快乐!
请教一下，我们的晶控仪有时候会出现有光控曲线但没有速率和膜厚的现象，无报警，每个月都会发生一两次，这是什么情况呢?而且昨天又发生了怪事，设定130的膜厚，显示镀了180，这个有可能吗？动作确认无问题
谢谢 (2014-01-04 19:26) 
你们是光控加晶控吧 如果光控乱了或者晶控乱了会造成这样的情况，多数为电子枪打火或者离子源打火