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主题:搞镀膜三年多,有啥问题,可以来求教啊!
回帖:图形变化分两种,一种是有规律的整体左右漂移或波峰波谷上下差值变动,另一种是无规律的整体形状发生变形,前者的影响因素主要是厚度和折射率变化造成的,造成厚度波动的原因有晶控寿命不足导致检测厚度不准。折射率变化的原因是镀上去的速率不稳,这个影响因素就多了,电子枪、晶控、真空度、离子源等都会影响沉积速率造成膜料折射率波动。
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