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主题:关于电子枪的一些小知识
回帖:3,电子枪相关的药品知识

药品根据折射率分为低折射率(1.38~1.5)中折射率(1.5~1.8)高折射率(1.8以上)三类。
药品特性:
MgF2:蒸发电流低,面蒸发,硬度高,易吸水
SiO2:蒸发电流低,面蒸发,硬度高,不耐碱,
易失氧变成黑色SiO,镀膜时需要充氧。
绝缘电阻高,所以一旦熔融后无法再次蒸发。
Al2O3:附着力强,耐水耐酸(塑胶片寿命要求高时,可用来打底)
ZrO2:附着力强,易形成不均质
TiO2:硬度高,折射率易变

一般颗粒药材,除SiO2外镀膜前都需要溶药,
目的是为了将颗粒缝隙中的空气和杂质气体(如H2O)排出,以免镀膜中发生溅料。

各药品蒸发条件如下:
药品
蒸発源電流(mA)扫描(XS/YS)速率
MgF230~6070/708~12SiO2顆粒120~17070/7010~12SiO2环形150~20040/7010~12Al2O3340~38020/205~7SiO30~60顆:70 固:406~10ZrO2280~3500~305~7Ta2O5(IAD)350~40020/203~4TiO2350~400 0~103~5
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电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。
1, ..

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