回帖：你好，新年快乐!
请教一下，我们的晶控仪有时候会出现有光控曲线但没有速率和膜厚的现象，无报警，每个月都会发生一两次，这是什么情况呢?而且昨天又发生了怪事，设定130的膜厚，显示镀了180，这个有可能吗？动作确认无问题
谢谢