回帖:jiangguang:你确定维护好了吗?厂家的人没准没你水平高。自己去测量下每次的真空度时间吧,基本图形变来变去就是真空不稳定,引起真空不稳定的因素:漏气,电压不稳,扩散泵有水气,可以从这两个方面研究。
(2013-12-17 09:24)
你好,谢谢你的耐心解答。
我们的机台可以做多做产品,有些是很稳定,有些以前可以,过一段时间不做就行了,调好了过几天不做也这样,估计还是条件的问题来的。
就是不知道你们调条件的时候除了膜厚和起始气压,蒸发源功率外还会修改哪些东西呢?
我才学镀膜一年,水平有限,谢谢你哈

