回帖：刚刚下载这本书看了下，这本书是浙大顾培夫编著的《薄膜技术》，1990年浙江大学出版社出版。
书的内容还是很全面的，共有九章，分别为：
第一章 真空设备
第二章 制备技术
第三章 制备工艺因素
第四章 薄膜材料
第五章 膜层厚度的均匀性
第六章 薄膜的厚度监控
第七章 薄膜的结构特性
第八章 光学薄膜性质及其测量
第九章 薄膜的力学性质及其检测