摘要：目前国内用于激光标刻机的f-theta镜头的视场角一般小于60°。采用望远镜结构，利用视觉放大率增大视场角，得到了超广角90°镜头。该方法具有简洁、可靠、易实现等特点。通过初级像差分析，确定系统的初级结构参数，利用ZEMAX软件优化得到了大工作面为Φ285mm的f-theta镜头，镜头线性畸变误差值不超过1%，在半径为698μm的圆内，能量集中度为80%，聚焦性能接近衍射极限。
关键词：光学设计；超广角f-theta镜头；初级像差理论；激光打标；ZEMAX