中远红外光学薄膜膜层厚度监控的误差分析与监控装置的改进
本文主要阐述了光电极值法的基本原理和反射式膜厚控制装置的误差分析，并且对改进后的膜厚控制装置的实验结果进行了分析和讨论。
关键词：光学薄膜；误差分析；红外滤光片