光学薄膜基本工艺讲义-周东平研究员（上海技物所）
第一讲真空系统的基本知识
第二讲制备技术
第三讲镀膜工艺
第四讲薄膜材料
第五讲膜厚监控
第六讲电子枪和离子源工作原理和作用
附件: 主题：光学薄膜基本工艺讲义
lywfeng发表于 2009-07-09 23:25
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