在先进光学制造中，对纳米尺度光栅微结构参数进行无损高精度测量，一直是传统技术面临的重大挑战。本文提出了一种新型光学散射测量系统，用于光栅微结构参数的无损高精度测量。该系统将定制设计的双光束散射仪与专用的深度学习架构相结合，该架构名为 ASPCNN（自适应自校准物理约束卷积神经网络），作为分析引擎。