光行天下

主题：镀膜新人问题第二弹

剑雨剑芒发表于 2026-04-20 15:15

1.中频反应磁控溅射中Ar气和O2气的配比不同，会影响折射率和消光系数吗？
目前我知道O2气不足会有吸收，是因为镀膜的材料从SIO2变成SIO1.5这样，里面是SIO2与SIO混合体，那如果O2气过量的话，会形成SI2O3与SIO2这样的混合体吗？

回帖(2)：
2楼:ouyuu:Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。
Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。
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1楼:Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。
Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。
做氧化 ..