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主题:新人镀膜问题求教
剑雨剑芒发表于 2026-03-29 22:11
楼主是去年8月份接触光学镀膜行业的,从刚开始什么也不懂,到现在对镀膜设备和工艺有了一定的初步认识,年前在这里注册了账号,潜水看以往的帖子进行学习。
现在工作中遇到几个问题,想问下求助大家(使用磁控溅射,镀膜材料是NB2O5和SIO2)
1.我们生产AR有两种膜系,一个总膜厚在240nm左右,另一个总膜厚在260nm左右。都是7层。我们修组系数后产品打样测得离散数据和240nm
的膜系就是曲线趋势对的上的,而260nm膜系的产品打样就对不上,这是因为修组系数时镀的单层膜厚有关吗?
2.设备镀膜的氩气和氧气的最佳配比该如何找?
3.我们真空计是成都睿宝的,电离规的玻璃规管在网上买到后货不对板,不是成都睿宝的,这个能用吗?
回帖(9):
9楼:ouyuu:真空度太差了,一般镀膜应该-2左右,蒸镀要控制在1.5E-2Pa以下。真空度差的话射频容易打火 ..
8楼:剑雨剑芒:我们设备镀膜时真空度大概在0.3到0.5pa左右。 (2026-04-20 15:17) 
真空 ..
7楼:ouyuu:记录一下各材料镀膜时候的真空度,和之前的记录比较一下。看看是不是差异很大。
如果 ..

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