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主题:TRCX应用:显示面板工艺裕量分析
infotek发表于 2026-02-10 07:55
制造显示面板的主要挑战之一是研究由工艺余量引起的主要因素,如CD余量,掩膜错位和厚度变化。TRCX提供批量模拟和综合结果,包括分布式计算环境中的寄生电容分析,以改善显示器的电光特性并最大限度地减少缺陷。
(a)参照物 (b)膜层未对准
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