摘要

光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。

设计任务

光栅特性与参数的严格分析

不同光栅周期的衍射效率

考虑光栅周期的选择

偏振相关衍射特性

偏振相关衍射特性

偏振相关衍射特性

基于参数优化的光栅设计

具有固定周期的二维参数优化

二维参数优化 - 设计＃1

二维参数优化 - 设计＃2

制造公差分析 - 设计＃2

不同光栅周期的三维参数优化

制造公差分析

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