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主题:WLO(晶圆级光学)的各种工序
威武的兔子发表于 2025-02-26 09:50
WLO(晶圆级光学)的各种工序。
首先,通过透镜成型工艺(图1),在上下的模具(微透镜阵列的模具)之间设置树脂。
接着,通过固化工艺(图2),使树脂通过热固化或UV固化而固化。
接着,通过脱模工艺(图3),卸下模具,将作为固化树脂的微透镜阵列取出。这里,微透镜阵列构成微透镜呈平面状或二维状展开的平面微光学元件。
接着,通过粘合工艺(图4),利用粘接剂将多个(两片以上)的微透镜阵列粘合,制作微透镜阵列层叠体(参照图5)。在该粘合工艺中,以往以点状(spot)粘接方式进行了粘合,但在本实用新型中,利用粘接片以面状粘接方式进行粘合。
接着,通过切割装置对微透镜阵列层叠体实施切割工艺(图5),切分为每个透镜的芯片状的透镜模块。作为切割装置,使用了利用激光实施切割的装置或者利用刀片实施切割的装置。将多种透镜模块粘合而形成透镜层叠体,制作在透镜层叠体的底部配置有图像传感器的相机型光学设备。
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1楼:WLO,是英文Wafer Level Optics的缩写,中文名称为晶圆级光学元件,是一种晶圆级镜头制造技术, ..

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