5k?unit是什麼?5000nm? sK7b4gmK
JxlZ,FF$@
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? Ha~}NO
)b-KF}]d
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 T_oL/x_;
(
\7Yo^
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ ZQ[ s/
-fD W>]_
再來 _aw49ag;
R
RnT.MU
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? .<Jq8J
+[Q`I*C
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 }h=3[pe}
vO8CT-)
說到這邊其實還是要確定你的手法 -Hg,:re2
#yOn /
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? E]ZIm
[ip}f4K
你可能連基板都不對咧!! b#Vm;6BHD1
OGPrjL+
去確認一下吧! 有問題再提出