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    [求助]求助大佬，镀膜出来脏污点多，如何解决？ [复制链接]

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    离线a250908282
    实习生
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-08-16
    关键词： 镀膜退膜离子源
    离子源清洗和退膜出来都是干净的，但是到镀碳膜后。出来的模具表面都有2到4个点脏污。 9O98Q6-s  
    测试过镀膜500秒以下出来的是很好的，1000秒以上出来基本都有几个点。过滤滤网重新喷砂换过还是如此。真空度偶尔浮动不是马上恢复。抽真空时间很长怀疑真空有问题， o'= VZT9  
    F:T GsV#  
    请问一下造成上面的问题有哪些原因呢。
     
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    离线凯歌一万年
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-08-21
    加  YKWQAZWSX
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2023-09-01
    麻点原因太多了。 8l)  
    1，你的工艺要讲清楚，某些镀膜材料本身容易喷溅，喷溅的时候会有真空波动。 kBsXfVs9  
    2，如果用离子源辅助，中和不足的情况下，会吸附镀膜材料的小颗粒到镀膜伞去。 HnZPw&*  
    3，坩埚某些部位漏（冷却水或者空气都有可能），会造成气流将小颗粒吹到伞上。 Y;Y 1+jt  
    4，POLYCOLD化霜太快，会将盘管上的脏物爆到伞上去。 ?U9/fl  
    你情况说的越具体，得到的答复针对性越高。否则都只能泛泛而谈。
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