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    [求助]透过率高低不一致的问题 [复制链接]

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    离线与日月兮齐光
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-08-10
    此悬赏帖已过期
    最佳答案：20 光币，热心助人剩余点数: 1 光币。
    在8寸的硅晶圆上做一个中远红外长波通，平面行星盘，用Te和ZnS两种材料，都用阻蒸蒸发，不用离子源辅助镀膜，为什么同一片测出来透过率高低差异会这么大，而且每次透过率高低分布的规律都不一样 hH8&g%{2  
    =:- fK-d  
     
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-08-13
    阻蒸的速率不稳定吧？用晶控控制的速率还是直接电流控制？
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