上海光机所在磨料水射流超精密加工理论及工艺研究中取得新进展
近期,中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心实验室在磨料水射流超精密加工理论及工艺研究中取得新进展。该研究成果拓展了磨料水射流加工的应用场景,同时为中频误差的抑制提供了一个全新有效的方法,对光学加工的发展有重要的指导意义。相关成果发表在Optics Express(《光学快报》)上。 现代光学系统对超精密光学元件有迫切的需求,数字化子孔径抛光是获取超精密光学元件重要手段,子孔径抛光在加工过程由于周期路径的卷积效应容易产生中频误差。对于高功率激光系统来说,中频误差会导致焦斑拖尾和近场调制,损坏光学元件。高能成像系统中,中频误差会引起小角度散射,降低光束质量和成像对比度。中频误差的抑制一直是国际光学加工领域研究的痛点和热点问题。现有抑制中频误差的方法普遍存在加工效率较低且有些方法还会破坏低频面形的问题。与此同时,磨料水射流抛光方法具有非破坏性和非接触性的特点,但由于其去除函数尺寸小、效率低的缺陷,仍缺少合适的应用场景。 |