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    [技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-30
    对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 4zc<GL3[  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 iS: #o>  
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    −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] CjZ2z%||=  
    −倾斜光栅高级设定[用例] l (kr'x  
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    −光栅阶序分析器[用例] p^QZq>v  
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