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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 |kH.o= Q^;:Kl.b B0U(B\~Y Q 0G5<:wc 2. 建模任务 qu1+.z=| Vm8@LA U
shIQh Lb)rloca 3. 干涉条纹的变化 *|<T@BXn n$`+03 a -#v1/L/= `m#-J;la 4. 走进VirtualLab Fusion _1Q6FI5iR =&6sU{j* ,f{w@Er + %v1X&_\ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 @R}3f6@67 #|4G,! $|xSM2 HdgNy \ 6. VirtualLab Fusion 技术 BPa,P_6( 67hfv e ^*i0~_
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