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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 3Z_t%J5QZ$ 6_W <hevI LEWa6'0rq yPSVwe|g 建模任务 \^Ep>Pq`] 9~=gwP _~juv& 仿真干涉条纹 g4Y) Bz U9x4j_.q [w,(EE 走进VirtualLab Fusion kmIoJH5 Sc$gnUYD{ YbzM6u2 dl:-k r8 VirtualLab Fusion中的工作流程 itw{;j vT%qILTrQf •设置输入场 Hc M~ −基本光源模型[教程视频] FtN}]@F •使用导入的数据自定义表面轮廓 D@#0 dDT •定义元件的位置和方向 ^/k, − LPD II:位置和方向[教程视频] o/WC@!wg K •正确设置通道以进行非序列追迹 '5AvT:
^u −非序列追迹的通道设置[用例] \<X2ns@Tf •使用参数运行检查影响/变化 Vd21,~^>g −参数运行文档的使用[用例]
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