消除平场扫描镜F-Theta后反射点的不利影响

为满足式（1-1）的线性扫描关系，同时校正F-Theta镜头的像差，往往需要多个透镜合理布局；激光在透镜表面的后反射点（图3-图6）能量高度集中，随着工业使用中激光功率的不断提升，如果后反射点聚焦在XY振镜片上，会烧蚀振镜片的反射膜层，造成系统透过率的大幅降低；如果后反射点聚焦在扫描镜内部镜片上（图6），造成明显的热透镜效应，该透镜折射率随着能量的积聚发生变化，直接改变扫描镜的工作距离，反映为标记光斑变大、标记颜色变浅甚至无法标记。

图3.后反射点示意1

图4.后反射点示意2